電子ビームタイプ

SVC-700LEB

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SVC-700LEB  

特長

  • 3連式または4連式電子銃の選択が可能
  • ゆとりあるチャンバーサイズで、大型基板への蒸着作業をストレスなく行なえます。
  • 抵抗加熱用蒸着電源の追加により、多層成膜や厚膜蒸着に対応可能


基本仕様

  SVC-700LEB/3G SVC-700LEB/4G
蒸着方式 電子ビーム方式
E-GUN 2kW 3連式 5kW 4連式
EB電源 -4kV×500mA (Max) -10kV×500mA (Max)
抵抗加熱蒸着 オプション
チャンバー φ400mm×D400mm (SUS製・円筒型)
真空ポンプ TMP:260l/sec(@N2) RP:100l/min
到達圧力 10-4 Pa台
圧力測定 ピラニー真空計/電離真空計
寸法・重量

本体:W744/D595/H1371mm 約230kg(RP別置)
制御盤:W570/D800/H1750mm 約115㎏


※本体/制御盤の高さ及び重量は、構成により変動します。
所要電源 単相100V 50/60Hz 5kVA 単相100V 50/60Hz 3kVA
三相200V 50/60Hz 10kVA
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オプション

  • ビームスイープ
  • 抵抗加熱源ユニット(蒸着電源:SVC-7PS80必要)
  • 基板加熱ユニット(300℃/600℃/1000℃タイプ)
  • 基板回転加熱ユニット
  • 基板冷却ユニット
  • 基板回転傾斜ユニット
  • 水晶振動子式膜厚モニター
  • ガス導入
  • 外部導入端子